У Нідерландах повідомили про майбутню поставку компанії Intel першого серійного літографічного сканера TwinScan EXE:5200 від ASML, ключового для виробництва чіпів за технологією Intel 14A (1,4-нм). Повідомлення про це з’явилося на сайті Tweakers.
Незважаючи на оголошене Intel скорочення капітальних витрат на $4 млрд у поточному році, це не вплине на графік отримання новітнього EUV-обладнання з високою числовою апертурою (High-NA) від нідерландського виробника, повідомляє ресурс Tweakers.
Хоча ASML раніше відвантажила три сканери TwinScan EXE:5000, ці моделі призначалися виключно для дослідницьких цілей. Серійне виробництво чіпів можливе тільки з використанням сканерів TwinScan EXE:5200 і пізніших версій. Раніше повідомлялося, що TSMC також отримає ранні зразки цього обладнання.
За інформацією з Нідерландів, Intel почне отримувати компоненти TwinScan EXE:5200 вже в найближчі місяці. Цей сканер забезпечує обробку понад 185 кремнієвих пластин на годину, значно перевершуючи продуктивність експериментальної моделі. Intel планує запустити виробництво чіпів за технологією 14A в обмежених кількостях уже наступного року.
ASML очікує масові поставки обладнання класу High-NA EUV до 2028 року. Компанія також працює над обладнанням зі ще вищою числовою апертурою (0,75), яке, як очікується, з’явиться у 2032 році.